有機硅雖然應用非常廣，但其歷史不過一百多年。
　　1863年，法國化學家弗里德爾（C.Friedel)及克拉夫茨（J.M.Crafts)從SiCl4與ZnEt2出發，在160℃下的封管中反應，制得了第一個含Si-C鍵的有機硅化合物SiEt4:
　　2ZnEt2+SiCl4SiEt4+2ZnCl2
　　1872年，拉登堡（A.Ladenburg)使用ZnEt2、Si(OEt)3Cl與Na反應，制得了帶硅官能基的硅烷。兩年后，他又從HgPh2與SiCl4出發，在封管中制得了PhSiCl3。1885年，波利斯（A.Polis）應用納縮合法(即Wurtz反應)制得SiPH4等。一直到1903年，許多化學家為有機硅化學誕生付出了心血。人們習慣將這一階段稱為有機硅化學的創始期。
　　英國化學家基平（F.S.Kipping）從1898年到1944年對有機硅化學進行了廣泛而深入的研究，先后發表論文57篇。他的突出貢獻之一是將格利雅（Grignard）反應用于合成不同官能度的可水解硅烷，并成為日后有機硅工業的基礎。該反應可示意如下：
　　溶劑
　　3RMgCl+2SiCl4=RSiCl3+R2SiCl2+3MgCl2
　　在此期間，迪爾塞（W.Dilthey）幾乎與基平同時應用格利雅法合成了有機硅化合物。接著他又將Ph2SiCl2水解成Ph2Si(OH)2，并進而縮合得到六苯基環三硅氧烷（Ph2SiO）3,這是第一個環狀硅氧烷化合物，對推動聚硅谷氧烷的發展起到良好的作用。后人稱這段時間為有機硅的成長期。
　　進入20世紀30年代末，美國康寧玻璃公司的海德（J.F.Hyed），通用電氣公司的帕諾德（W.J.Patnode）及羅喬（E.G.Rochow）,前蘇聯的多爾高夫及安德里諾夫以及德國的米勒等認識到有機硅聚合物的應用前景，開始探索具有玻璃性能的耐熱性有機聚合物。先制成了硅樹脂，1940年又制得了二甲基硅油。1941年Rochow發明了直接法合成有機氯硅烷，緊接著米勒也申請了直接法專利。
　　1942年美國道（Dow）化學公司建成了甲基苯基硅樹脂及二甲基硅油中間試驗裝置。1943年，道化學與康寧玻璃公司合資成立道康寧（Dow Corning,DC）公司，專門從事有機硅的生產與研究。1947年，通用電氣（General Electric,GE）公司成立有機硅部（后賣給了阿波羅私募基金，成為現在的邁圖有機硅）。
 　　進入50年代，德國的瓦克（Wacker,1951）拜耳（Bayer,1952后與GE合資），及戈特斯密特（Goldschmidt）;日本的信越化學（1953），東京芝浦電氣（1953年并入東芝有機硅公司，后與GE合資）及東麗有機硅公司（1966，后與DC合資，并以DC為主）；法國的羅納-普朗克（Rhone-Poulenc,后并入我國的藍星）等紛紛建立有機硅生產裝置。
　　1938年至1965年間，由于單體產量及產品品種的增加，分離純化動技術的進步及聚合工藝的改進，各種硅油，硅橡膠及硅樹脂產品相繼問世。人們稱這一階段為有機硅的發展期。
　　1965年以后，各工業發達國家的有機硅開發研究，工業生產及推廣應用已進入全面發展的新階段。
　　中國的有機硅技術開發起步于1952年。當時，北京化工試驗所（沈陽化工研究院前身）重點開發格利雅法合成有機氯硅烷技術，上海有機化安所（中國科學院化學研究所前身）側重研究硅氧烷的平衡與聚合。1956年，沈陽化工研究院建成有機硅中間試驗車間，1958年上海樹脂廠建成直接法合成有機氯硅烷生產裝置。1967年北京化工研究院及沈陽化工研究院有機硅部分并入晨光化工研究院。1968年，星火化工廠成立（藍星有機硅的前身）這期間有機硅研究單位及生產廠家發展較快。現今，中國已成為有機硅材料最大的消費國與生產國。